•适用材料:Laminate、支架、载板、Ferrite及晶圆。
•设备功能:将材料料片透过自动化设备之运作后,把材料贴合在UV膜上,供后制程如研磨机或其他制程设备使用。
•设备介绍:
◎ 材料入料区
- 搬运机构将 Magazine内之材料、或散装料片、或是置放于吸塑盒之材料,透过视觉辨识,将指定之材料
放进料片整位区。
- 机台无需调整或改变流道宽度,依照所选择之Recipe能匹配不同的Laminate 和 Ferrite 尺寸自动转换。
- Laminate、支架、载板、弹匣&晶圆环,堆栈缺料检知可在入料区即将缺料时,会有警告提示,但不停机
直到完全缺料时才停机。
- 可透过 Barcode 读取生产工单数据,或是直接读取材料上之1D/2D code,供贴膜过程中的相关信息的交流。
◎ 贴膜区
- 搬运机构二将定位精准之材料, 放置贴膜平台上,及抓取铁圈放置贴膜平台上,进行贴膜作业。
- 贴合精度:+/-1mm旋转 < 1⁰
- 贴膜完成透过翻转机构,将材料翻回到正面,进行条形码贴标作业,及透过条形码读取器,确认打印之条形码是
否正确。
- 出料区只置放一个料框,可透过程序选择 8”或12”晶圆环和料框,执行出料区轨道自动调整轨距。
- 可处理 Non Pre-cut UV 及 Pre-cut DAF Membrane的贴膜作业。
- 自动贴膜机之作业参数更换,以透过SECS/GEM交握从IT传送到设备,自动程序切换以及机构参数比对。
- 制程监控数据可被输出做数据分析用。