•适用材料:8”Wafer Ring、8”Wafer Ring
Cassette
•设备速度:≦240pcs
(Index time:15sec/Curing time:depends)
•机台尺寸:长:1300mm ,宽:1300mm ,高:2100mm
•设备电力:AC
220V,single phase,30a,50/60Hz
•设备空气源:5 kg/cm2
•控制系统:PC+PLC
•光源:LED UV
Lamp
•波长:Range
365~385nm/Peak value 375nm
•LED 功率消耗:880W/head
•led uv强度:0-100%
adjustable
•冷却方式:By air
•灯源使用寿命约10,000~15,000小时，照射范围可客制化